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喷雾式涂布机

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喷雾式涂布机

  • 所属分类:黄光设备

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  • 发布日期:2019/08/01
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  • 详细介绍

半导体清洗机

主要用途:
喷雾式涂布机主要用于开发研究和各种半导体器件(MEMS)和微机械。对应于超厚膜涂层,它是很难通过常规的旋涂机微粒的化学溶液,以使通过的特殊定制的喷雾喷嘴水平薄涂层。
被涂覆的部分上,可以形成均匀的膜是困难的,在传统的离心器,如在基板上的倾斜表面和梯形槽顶点。我们还支持基板贯通孔用于固定样品的未经使用的真空抽吸。

一、特点:
(1)药液物也可以均匀地涂布在倾斜等不平表面上的槽基板。
(2)支持苯并环丁烯(BCB),各种聚合物等(需要稀释液)。
(3)对应于各种大小、形状,还可以通过交换在样品台上的样品。
(4)比传统的喷涂装置的成本低,易于操作。
(5)工作台面为了便于清洗的可拆卸顶板。
二、产品规格
固定式和移动式喷涂机喷涂的样本格式
(1)手动上下取片;
(2)PLC控制半自动操作控制;
(3)喷雾干燥的空气和喷雾化学泵送系统;
(4)工作台平面可旋转;
(5)喷雾喷嘴高度范围为80〜150毫米(从样品台表面);
(6)范围约400毫米的直线运动(全行程的直线运动);
(7)清洁干燥的空气:5KG / C㎡(φ6mm气动管连接口);
(8)电源:AC220V 1800W;
(9)排风:φ100mm圆片分钟连接管道直径为100升/排气;
(10)重量: 150kg以下重量;
(11)外形尺寸:1300×800×800毫米的机身(H×W×D);

本文网址:http://www.semi-xfs.com/product/643.html

关键词:喷雾涂布机,喷涂式涂布机

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