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EKC清洗设备

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EKC清洗设备

  • 所属分类:清洗设备

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  • 发布日期:2019/06/29
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半导体清洗机  半导体清洗机厂家


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EKC清洗设备

一、设备技术特点:

全自动上下料,自动补液,

Bellows  Pump 循环药液

管道加热控制,温控精度±3°C

可配备SUS316-EP、PVDF、PTFE、Qz等槽体

配备2套自动机械臂

可配备HEPA/ULPA过滤器

IPA干燥系统

二、主要指标:

对应6~8 inch晶片

药液管道对应过滤等级0.1µm

多种Recipe 设计

多级密码控制

电导率监测

本文网址:http://www.semi-xfs.com/product/615.html

关键词:西安清洗设备,清洗设备价格

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